180nm透紫率的定义

180nm透紫率是指石英玻璃在波长为180纳米的紫外光下的透射率。在光刻行业中，180nm透紫率是一个十分重要的参数，因为这个波长范围内的紫外光被广泛应用于半导体制造中，特别是在制造高集成度、高精度的芯片时，更是必不可少。

影响因素

石英玻璃的180nm透紫率受到多种因素的影响。其中，最主要的因素是杂质含量和制备工艺。杂质含量是指石英玻璃中的杂质元素含量，如铁、钠、钙等。这些元素会影响石英玻璃的光学性能，从而影响180nm透紫率。制备工艺包括石英玻璃的熔融温度、熔融时间、冷却速率等因素。这些因素会影响石英玻璃的晶体结构和缺陷密度，从而影响180nm透紫率。

石英玻璃的基本性能介绍

石英玻璃是一种硅***玻璃，具有优良的物理、化学性能。其抗化学腐蚀、高温稳定性和低热膨胀系数等特点，使得其在光刻、半导体、光学等领域中得到广泛应用。石英玻璃的制备主要采用熔融法，即将石英砂、***等原料混合后，在高温下熔融制成玻璃坯料。

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