冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力比较低、抽气速率比较大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导

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