真空泵在其工作压力下，干式真空泵机组，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

无油往复真空泵

靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，干式真空泵机组型号，又称活塞真空泵。往复真空泵的结构与往复活塞压缩机相似。工作时，吸气管接被抽真空容器，排气管直通大气。往复真空泵可用于真空蒸馏、真空浓缩、真空结晶、真空过滤、真空干燥和混凝土真空作业等

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