特点与功能超高真空系统,多弧离子镀、磁控溅射、电子束蒸发(选购)三重功能,基片温度可控可调,离子清洗基片,偏压增强膜层附着力,旋转改善膜层均匀性。多弧沉积用于工具镀、装饰镀。如各种基材上快速沉积金属膜(钛)、化合物膜(***钛)等；磁控溅射耐腐蚀、耐磨、***功能膜等。结合多弧优势快速沉积高质量膜系；电子束蒸发应用于各种光学膜。三种沉积方式优势互补,应用领域广阔。

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