Edwards爱德华真空泵E2M80维修

（1）泵油的返流

旋片泵在工作时，油蒸汽会逆着气流方向进入入口管道，爱德华机械泵油，通过管路**终进入被抽容器。油蒸汽的返流量随压力的降低而增加，在泵极限压力附近达到，返流油蒸汽主要是泵油中的轻馏分。

泵油的返流会污染真空室

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