超平硅片价格,厂家,上海桑戈供

超平硅片（AFM、SEM用硅片）

常作为AFM基底片用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：

                                                              4"                                  6"                                    8"

直径                                                  100 mm                          150 mm                           200 mm

向性                                                   <100>                            <100>                            <100>

级别                                                  P/Boron                          P/Boron                            P/Boron

Growth Method:                                     CZ                                   CZ                                   CZ

电阻率                                        10-20 Ohm-cm                    10-20 Ohm-cm                   10-20 Ohm-cm

厚度                                           525μm ±20μm                    675μm ±20μm                   725μm ±20μm

TTV:                                          <μm                               <μm                         <μm

SFPD:                                         <μm                                <μm                           <μm

Warp:                                         ≤30μm                                 ≤30μm                             ≤30μm

Bow:                                          ≤30μm                                 ≤30μm                              ≤30μm

微粒数                                    ≤20@≥μm                         ≤20@≥μm                   ≤20@≥μm

正面Front Surface                        Polished                                Polished                              Polished

背面Back Surface                          Etched                                 Etched                                Etched

平整度Flat:                        2 per SEMI Standard                   1 per SEMI Standard            2 per SEMI Standard

Site Flatness:                            <μm                                  <μm                              <μm

粗糙Roughness                        Typically 2-3?                          Typically 2-3?                     Typically 2-3?

产品选购：

货号                                                                       产品名称                                           规格

71893-01                                         Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"超平硅片                               1片

71893-02                                         Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"超平硅片                               1片

71893-03                                         Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"超平硅片                               1片

免责声明： 本页面所展现的信息及其他相关推荐信息，均来源于其对应的用户，本网对此不承担任何保证责任。如涉及作品内容、 版权和其他问题，请及时与本网联系，我们将核实后进行删除，本网站对此声明具有最终解释权。