1．衬底与外延膜的结构匹配：外延材料与衬底材料的晶体结构相同或相近、晶格常数失配小、结晶性能好、缺陷密度低； 2．衬底与外延膜的热膨胀系数匹配：热膨胀系数的匹配

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