产品介绍废气处理设备，主要是运用不同工艺技术，通过回收或去除减少排放尾气的有害成分，达到保护环境、净化空气的一种环保设备。产品属性废气处理系统包括：一个采用干性系统或湿性系统并通过废气排出管路与一个半导体器件制造系统相连的废气处理设备，和一个通过吸气管路与废气处理设备相连的吸气设备，该设备将废气从半导体器件制造系统吸入废气处理设备；其改进包括一个设置在形成废气排出线的前、后排气管之间的微粒分离装置，该装置能够从废气中分离和去除包含在废气中的微粒，所述的微粒分离装置包括：一个确定气腔的气体容器，该

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