CRBR型外延炉尾气净化器是在我公司引进美国先进技术以及结合我公司十几年的设计生产经验而研发出的新型外延炉尾气净化器，是迄今为止*效、**可靠、*成本的Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化学气相沉积工艺尾气处理设备。

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