电子从电场中得到能量，通过碰撞将能量转化为分子的内给和动能，获得能量的分子被激发，与此同时，部分分子被电离，这些活化了的粒子相互碰撞从而引起一系列复杂的物理化学反应；因等离子体内富含的大量的活性粒子如离子、电子、激发态的原子和分子及自由基等，从而为等离子体技术通过化学反应处理废臭气体物质提供了条件；它是基于放电物理、放电化学、反应工程学的学科之上的交叉学科

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