湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，无尘车间，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高，粘附的难去掉，无尘车间建造，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，无尘车间，同时大量半导体器件容易发生击穿

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