目前国内供半导体生产用的石英玻璃产品,就其纯度而言,大体分为两个品种,一个是以天然 水晶为原料熔制而成的产品,它的杂质含量(指Al、Fe、Ca、Mg、Ti、Ni、Cu、Co、Mn、B、K、Na、Li等十三种杂志元素的总和)一般均在50ppm以下,另一种是用高纯合成原料(如SiCl4等)经高温水解熔制而成的产品,它的化学纯度很高 ,十三个杂质元素的总含量一般均不超过2ppm,但它的价格昂贵,比较大的缺点是软化点较水晶制品低80度左右,用它制造的坩埚和扩散管在使用过程中容易变形。为了满足半导体工业对石

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