一、设备简述

　　　 这是一台由电子束热蒸发镀膜室、进出样室组成的双室超高真空镀膜设备，主要部分包括：镀膜室的分子泵+吸附泵超高真空抽气系统、进出样室的分子泵高真空抽气系统、E型电子枪、样品传递机构、真空测量、膜厚测试、电控系统等。　　　 电子束热蒸发镀膜室采用E型270°电子枪，用于镀制各种单层膜、多层膜膜系，可用于镀制金属材料及高熔点（难

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