PECVD石墨舟:SGL高纯石墨材料,PECVD 作为镀膜**常用的工艺之一，被***用于半导体、电池片的生产工艺中。作为硅片的载体，石墨是**理想的材料之一，对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用 ！要求其有高纯度、耐腐蚀，极好的抗弯强度，和良好的导电系数。

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