1%PH3+H2 1+ PH3: 6N H2O≤，CO2≤，N2≤，O2 +Ar≤，AsH3≤,，THC≤ L CGA350 100KGf/cm2 H2: O2+Ar≤,N2≤,CO≤,CO2≤,THC≤,H2O≤ 440L DISS632 作用 在电子气家族中，***、磷***、***、******应用量较大，是IC制造极为重要的原料。其中的磷***是半导体

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