超纯***纯度：

用途：用于电子工业系统的吹扫、保护和增压，还可用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀和退火等不同工艺中；用于标准气体制备、科学研究等对***气纯度有较高要求的领域。

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