闭路循环气***制冷机低温泵，cryomec低温泵，冷板由无氧铜制成，高低温泵，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。泵的极限压力为10-7～10-8帕，工作压力范围为10-1～10-7帕，低温泵，要求预抽压力为1帕。制成的产品抽气速率已达60000升/秒（1升=10-3米3）。此外，尚可根据工艺的特点把抽气冷板安排在被抽容器内，其抽气速率可达到106升/秒以上。

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