电子级(VLSI)***产品生产装置于2003年投产，经北京市科委鉴定，主要用于半导体器件生产中单晶硅片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造。 N电子级(VLSI)***产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部**材料质量监督检验中心抽样检验，纯度大于，总杂质含量小于5ppm，产品性能指标与国 际品牌相当。 N电子级(VLSI)***产品经国内外多家半导体

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