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高纯气体(PurifiedGases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。中文名高纯气体外文名PurifiedGases性质气体工业名词分类有机高纯气体，和无机高纯气体目录1概述2有机高纯气体▪******：▪******：▪******：▪其他：3无机高纯气体4常见高纯气体的用途高纯气体概述编辑高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，***，***而言，通常指纯度等于或高于；而对于氧气，纯度为；对于碳***合物，纯度为。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、***、***可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。[1]高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体，高纯气体有机高纯气体编辑高纯气体******：***（CH4）、***（C2H6）、***（C3H8）、***（cyc-C3H6）、***（n-C4H10）、***（i-C4H10）、***（n-C5H12)、***（neo-C5H12）、***（CH3Cl）、***（C2H5Cl）、三***（CHF3）、***（C2H4O）、******（AsH3）、磷***（PH3）、***（B2H6）、***（SiH4）等；高纯气体******：***（C2H4）、***（C3H6）、丙二***（C3H4==）、1-***（1-C4H8）、***。

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